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第145章 蓝光(下)

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奉天,晚上,科仪食堂

刘民学厂长端着打好的饭菜,四处巡视。

科仪厂好久没有这么热闹的景象了。

前段时间厂里不景气的时候,别说晚餐了,就是午餐时段,都没有多少人,因为很多人都放假回家了。

松花江半导体的订单,由于产量和参数所限,单价并不高,但是数量比较大。

MEMS传感器由于结构各异,为了防止不断调整设备参数造成的质量波动,基本上每种传感器都需要设独立的生产线。

国内设备本来价格就不高,再加上定制开发费由国家专项补助报销,所以松花江半导体一口气,连定了七八条生产线。相对应的,就是相同或者类似的设备,一买就是七八个。

这批设备的集中交付,让科仪恢复了久违的兴旺景象。

刘民学满意的在食堂里转了一圈,在技术科科长王青山的桌子前停了下来。“你们那边的MOCVD,调试得如何了?”

“很顺利,非常顺利。”

“怎么个顺利法?你前几天不还说,MOCVD的参数很多,调试起来会非常困难吗?”

“是啊。我也觉得奇怪呢。陈泉一来,随便调了两下,GaN的生产情况就稳定了下来。所以,我们的调试工作基本结束。”

其实在陈泉来之前,王青山就已经组织人对设备进行过联调了,否则他也不敢发消息,请客户前来参加最后的调试。

双气流结构,看起来简单,但两个喷嘴之间的相互关系,每个喷嘴的风量,风速,角度等变量相当多,任何一个出问题,都会影响到最终结果。王青山自己调了两天,最后只能放弃。

“你的意思是,你们那台MOCVD已经调试完毕,可以交付了?”刘民学小小吃了一惊。“这么快?”

“对啊。”

“等一等,等一等。”刘民学想了想,干脆缓缓坐了下来。“我记得你一直说,采用陈泉的思路,生成的GaN最后会有晶体缺陷问题,实际根本没有办法使用,对吧。”

由于设备的原因,科仪厂对蓝光LED技术做了些相关研究。

蓝光LED采用的衬底材料不是IC中常见的硅晶圆,而是晶体结构和GaN接近,但晶格常数失配的蓝宝石。

由于晶格失配,GaN外延层和蓝宝石衬底之间存在失配应力,应力的释放会导致GaN内部产生大量缺陷。这样的材料是没有使用价值的。

“是,是我说的。但晶体缺陷问题,不是我发现的,它是蓝光LED道路上的一个公认难题。”

“我当然知道问题不是你发现的。”刘民学用手轻轻拍了下桌子。“可晶体缺陷,到底发生了没有?”

“晶体缺陷的问题,我们也遇到了。”王青山把两手一摊。“但问题被陈泉解决了。”

“解决了?怎么解决的?谁解决的?是修改设备了吗?我怎么没有收到修改通知书呢?”

刘民学感觉才两天没有关注,MOCVD项目组里居然发生了如此多的事情。

“陈泉没有修改设备,而是修改了工艺步骤。他用了两段的加热方式。先在较低的温度生成一层GaN。然后再把温度提高到正常的1000度。由于应力会在低温GaN层被释放掉,最后生成的高温GaN,晶体品质就没有问题了。”

“就这么简单?先用低温,再用高温?”

刘民学简直不能相信自己的耳朵。GaN晶格缺陷问题,名气非常大。但陈泉的方案,既没有增加设备,也没有增加成本。

“对,就这么简单。”

王青山撇了撇嘴。“说实话,我到现在仍有种做梦的不真实感。陈泉来了以后,直接上手操作。他给我的感觉,怎么说呢....就好像他经常用这台MOCVD一样。可这台设备,明明我们才生产出来。”

“毕竟设备是他设计的,他的操作比生产人员熟练,倒也正常。”刘民学不以为意。“那接下来你们要做什么?直接验收签字,收钱?”

“还没有。”王青山摇头。“陈泉说,他要组织一次蓝光LED实际生产,来验证一下GaN的晶体质量。”

“这怎么可以?”

刘青山一听就炸了。“MOCVD的验收,怎么能跟蓝光LED捆绑在一起?我们顶多给他出具个GaN的检测报告,这还是在我们已经有信心的基础上。”

“是啊,我也是这么说的。因为地球人都知道,蓝光LED有个p型结掺杂失效的老大难问题。”

王青山耸了耸肩。“可他坚持。”

“这个话,由我来说!明天我过去找你们。我们是设备生产商,只对设备负责。更不要提,这台设备还是他自己设计的!”

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工大,化学系,会议室。

会议桌的一侧都是化学系的教授,副教授,另外一侧则是骆凝薇领头的一群女学生。

“我不同意你们提出的方案。”王博教授把几张简单的文件,推回桌子中央。

与其他院系不同,化学系有较强的产业化能力,所以对松花江科技提出来的,科研单位拿成果,公司拿产权的方案,不太赞同。

“你们只是出了一个锂电池的名字,就把所有的产权拿走,这简直是剥削和敲诈。再说了,锂电池我们已经有人在做了。”

“可是课题经费是我们出的啊。”骆凝薇反驳。

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